Bidaia sorta
20 mm
Ebazpena
0,125μm
Errepikagarritasuna
＜1μm
Zuzentasuna
＜2μm
Paralelismoa
＜5μm
Pitching
10″（50μrad）
Aharrausi
Gehienezko Abiadura
5 mm/seg
Karga Edukiera
10kg
Pisua
1,5 kg
